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技术
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全息偏振投影实现单光场曝光

全息投影镜头曝光装备


       大面积PVG光配向设备:
       • 光栅间距:>400nm
       • 光栅尺寸:约200mm
       • 拼接缝隙:≤5μm
       • 光栅类型:均匀光栅,像素化光栅

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