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激光直写曝光装备LDW

光刻机


       液晶DOE光配向设备:
       • 特征尺寸:<1μm
       • 薄膜尺寸:>200mm
       • 相位阶数:2-16
       • 掩膜 + 复制能力:适合批量生产

询价/合作意向